净化车间每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准。目前净化车间应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。5μm及以下的微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1k级别。
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净化车间的特点有美观、刚性强、保温性能好、易施工。圆弧墙角、门、窗框等一般采用---氧化铝型材制造地面可采用环氧自流坪地坪或塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。送回风管道用热渡锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型pf发泡塑胶板送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板。
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