空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(hepa) 进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。
优点:构造简单、系统建造成本低,洁净室的扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。
缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再活,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。
净化车间之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触的---的洁净度以及温湿度,使产品能在一个---之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为净化车间。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的影响,所以在光学构造产品的生产上,净化车间无尘是必然的要求。
每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,净化工程施工,就达到了国际无尘标准级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。5μm及以下的微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1k级别。
千级洁净棚采用铁方通喷塑、不锈钢方通、铝型材作为框架,ffu(风机过滤单元)送风,四周悬挂防静电垂帘或钢化玻璃,内部净化级别可达到静态100-10000级(美联邦209e标准)。洁净棚适用于操作区内局部净化级别要求高的区域。
千级洁净棚特点
洁净棚整体采用冷轧钢板喷塑、不锈钢和铝合金等几种材料
相对超净工作台内部有效空间;
相对传统洁净室,洁净棚具有施工快、成本低、且对楼层高度要求低的优势。
洁净棚采用可调风量系统,---工作区风速处于理想状态。
洁净棚适用洁净生产线,多人使用方便。
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