洁净室工程

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    2022-8-26

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浙江鑫源净化设备有限公司提供洁净室工程。

  (1)、清洁洁净室内的墙时应使用洁净室无尘布;

  (2)、用90%去离子水和10%的配置清洁剂;

  (3)、使用已获批准的洁净室去污剂;

  (4)、每天都要检查车间和整备间的垃圾箱,并及时清走。

  (5)、每块地板都要吸尘。每次交---时,都应在地图上标明工作完成情况,例如在哪结束从哪开始。


  (6)、清洁洁净室的地面应使用拖把。

  (7)、在洁净室里吸尘应使用带有过滤器的真空吸尘器。

  (8)、所有的门都需要检查并擦干

  (9)、吸完地以后再擦地。一周擦一次墙面。

  (10)、架空地板下也要吸尘及擦拭。

  (11)、三个月擦一次架空地板底下的柱子和支撑柱。

  (12)、工作时一定要记住,永远是由上往下擦,从离门远的地方向门的方向擦。



洁净空调系统设计

3.1 洁净冷负荷计算

夏季冷负荷包括:维护结构冷负荷、人员冷负荷、照明冷负荷、生产设备冷负荷、新风冷负荷、风管冷损、空调机组风机负荷等。经计算:100级区域冷负荷指标为880w/m2,洁净室工程,1000级冷负荷指标:480w/m2。普通区域(testarea)冷负荷指标:600w/m2(普通区域放置测试设备,---量较大)。

3.2 100级、1000级洁净房的空调方式洁净房采用fhu+dcu+ffu的空调方式,洁净房空调及气流组织形式见图1。

其中,fhu为新风机组(freshairhandingu2nit),另外,新风机组对新风采取了初、中、高过滤处理。新风机组包括:初效段,表冷段,中效段,加热段(厂家有热水系统,采用热盘管),加湿段(厂家有蒸气),高段。其中,空气清洗段厂家先要求预留,以后再增加新风机组担负洁净房的湿度控制,保持洁净房的正压和人员新风需求。



送风量大

洁净度的提高和维持是半导体器件厂房空调系统设计和运行的重要任务,这一任务的完成要依赖---的送风量,是以高能耗为代价的。就送风量而言,一般办公大楼换气次数为10h-1左右,而---半导件器件厂房内,为了满足相应的洁净度要求,需要------的换气次数,致使循环风量非常大。100级洁净室的换气次数可选到400h-1,10000级洁净室的换气次数日选到40 h-1,100000级洁净室的换气次数也要30 h-1。



洁净室工程由浙江鑫源净化设备有限公司提供。浙江鑫源净化设备有限公司是浙江 杭州 ,工程施工的见证者,多年来,公司贯彻执行科学管理、---发展、诚实守信的方针,满足客户需求。在浙江鑫源---携全体员工热情欢迎---垂询洽谈,共创浙江鑫源美好的未来。
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