送风量大
洁净度的提高和维持是半导体器件厂房空调系统设计和运行的重要任务,这一任务的完成要依赖---的送风量,是以高能耗为代价的。就送风量而言,一般办公大楼换气次数为10h-1左右,而---半导件器件厂房内,为了满足相应的洁净度要求,需要------的换气次数,净化工程价格,致使循环风量非常大。100级洁净室的换气次数可选到400
洁净空调系统设计
3.1 洁净冷负荷计算
夏季冷负荷包括:维护结构冷负荷、人员冷负荷、照明冷负荷、生产设备冷负荷、新风冷负荷、风管冷损、空调机组风机负荷等。经计算:100级区域冷负荷指标为880w/m2,1000级冷负荷指标:480w/m2。普通区域(testarea)冷负荷指标:600w/m2(普通区域放置测试设备,---量较大)。
3.2 100级、1000级洁净房的空调方式洁净房采用fhu+dcu+ffu的空调方式,洁净房空调及气流组织形式见图1。
其中,fhu为新风机组(freshairhandingu2nit),另外,新风机组对新风采取了初、中、高过滤处理。新风机组包括:初效段,表冷段,中效段,加热段(厂家有热水系统,采用热盘管),加湿段(厂家有蒸气),高段。其中,空气清洗段厂家先要求预留,以后再增加新风机组担负洁净房的湿度控制,保持洁净房的正压和人员新风需求。
工艺设备的---情况随不同的生产工艺不同而不同,有些工艺设备是高---设备,就需要较多冷负荷来抵消。总之,洁净厂房空调系统具有排风量大、送风量大、工艺设备---量大、阻力大和风机静压高的特点,这些共同造就了洁净厂房空调系统的高耗能。
自然洁净室和单纯空调房间相比,单位面积建设费用和能耗要大得多。但洁净净化空调系统的节能问题,在国内尚未引起足够的重视。但随着信息产业向我国的---转移,洁净厂房的高耗能、节能问题也成为能源紧缺的我国一个不可回避的问题。目此,洁净室与清洁厂房的空调系统的节能就有着积极的意义。
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