洁净厂房建筑方式可分为土建结构和装配式两种,其中普遍采用装配式。装配式洁净厂房系统主要由初,中,高三级空气过滤的空调送风回风和排风系统;动力及照明系统;工作环境参数的监测报警消防和通讯系统;人和物流系统;工艺管路系统;维护结构及静电地面处理等各方面所要求的实施内容组成,形成空调净化系统工程所包含的整个设备和器材的配套和建筑安装内容。
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现如今,洁净技术已广泛应用于各行各业的工业产品生产或其他要求防止粒子污染、微生物污染的环境控制,由于各行业的产品特性不同、各个产品的生产工艺流程不相同,使用要求不一样,因此要求控制环境的内容、指标均不会相同。所谓无尘车间的环境控制的内容应该包括:空气净化、洁净建筑、与产品直接接触的水或气体或化学品和生产设备、工器具等的污染物控制以及微振动、噪声、静电的控制、防止等。
所以无尘车间的设计不仅要求对室内的空气进行净化达到规定的空气洁净度等级,还必须防止因无尘车间的建造用材料、装饰方式不当带来的污染,有的无尘车间还要求供给纯水、超纯气体和高纯的化学品等。
净化车间之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触的---的洁净度以及温湿度,使产品能在一个---之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为净化车间。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,净化手术室价格,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的影响,所以在光学构造产品的生产上,净化车间无尘是必然的要求。
每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。5μm及以下的微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1k级别。
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