乱流洁净室的主要特点是---流到出流(从送风口到回风口)之间气流的流通截面是变化的,洁净室截面比送风口截面大得多,因而不能在全室截面或者在全室工作区截面形成匀速气流。所以,送风口以后的流线彼此有很大或者越来越大的夹角,曲率半径很小,气流在室内不可能以单一方向流动,将会彼此撞击,将有回流、旋涡产生。这就决定乱流洁净室的流态实质是:突变流;非均匀流。
这比用紊流来描述乱流洁净室更确切。紊流主要决定于雷诺数,也就是主要受流速的影响,但是如果采用一个过滤器顶送的送风形式,则即使流速极低,也要产生上述各种结果,这就因为它是一个突变流和非均匀流。因此这种情况下不仅有流层之间因紊流流动而发生的掺混,而且还有全室范围内的大的回流、旋涡所发生的掺混。
送风量大
洁净度的提高和维持是半导体器件厂房空调系统设计和运行的重要任务,这一任务的完成要依赖---的送风量,是以高能耗为代价的。就送风量而言,一般办公大楼换气次数为10h-1左右,而---半导件器件厂房内,为了满足相应的洁净度要求,需要------的换气次数,致使循环风量非常大。100级洁净室的换气次数可选到400
千级洁净棚采用铁方通喷塑、不锈钢方通、铝型材作为框架,ffu(风机过滤单元)送风,四周悬挂防静电垂帘或钢化玻璃,内部净化级别可达到静态100-10000级(美联邦209e标准)。洁净棚适用于操作区内局部净化级别要求高的区域。
千级洁净棚特点
洁净棚整体采用冷轧钢板喷塑、不锈钢和铝合金等几种材料
相对超净工作台内部有效空间;
相对传统洁净室,洁净棚具有施工快、成本低、且对楼层高度要求低的优势。
洁净棚采用可调风量系统,---工作区风速处于理想状态。
洁净棚适用洁净生产线,多人使用方便。
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